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簡(jiǎn)要描述:半導(dǎo)體超純水檢測(cè)非常重要,因?yàn)榘雽?dǎo)體純水是半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中非常關(guān)鍵的環(huán)節(jié)之一。高純水是確保半導(dǎo)體生產(chǎn)質(zhì)量和可靠性的必要條件。而半導(dǎo)體純水中懸浮物、雜質(zhì)和有害物質(zhì)的檢測(cè)則更是重中之重。
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超純水水中除了水分子外,幾乎沒有什么雜質(zhì),更沒有細(xì)菌、病毒、含氯二噁英等有機(jī)物,當(dāng)然也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素,也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水??梢杂糜诔儾牧希ò雽?dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等)應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)的制備過程 。
半導(dǎo)體超純水檢測(cè)有幾個(gè)重點(diǎn)的地方需要關(guān)注:
懸浮物檢測(cè):微小的懸浮物可能在半導(dǎo)體制造過程中引起短路或其他故障。
雜質(zhì)檢測(cè):雜質(zhì)如離子和金屬離子可能對(duì)半導(dǎo)體器件的性能和可靠性造成不可逆的影響。
有機(jī)物檢測(cè):有機(jī)物可能導(dǎo)致半導(dǎo)體表面污染,從而影響器件的性能。
細(xì)菌和微生物檢測(cè):微生物的存在可能引發(fā)細(xì)菌感染,對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)造成嚴(yán)重破壞。
半導(dǎo)體超純水檢測(cè)電子純水檢測(cè)超純水可以在以下領(lǐng)域使用:
(1)電子、電力、電鍍、照明電器、實(shí)驗(yàn)室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗(yàn)、生物、制藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等領(lǐng)域。
(2)化工工藝用水、化學(xué)藥劑、化妝品等。
(3)單晶硅、半導(dǎo)體晶片切割制造、半導(dǎo)體芯片、半導(dǎo)體封裝 、引線柜架、集成電路、液晶顯示器、導(dǎo)電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件 、電容器潔凈產(chǎn)品及各種元器件等生產(chǎn)工藝。
(4)高壓變電器的清洗等
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